SK하이닉스 조성 중인 첫 번째 팹 내에 연면적 3300㎡ 규모
계측장비 약 40대 갖춰 국내 소부장 기업 기술 개발· 실증 지원
사업비 1조원 규모 …산업부와 경기도, 용인시, SK하이닉스 등 분담
경기 용인시 원삼면 반도체 클러스터 내에 첨단 반도체 성능평가시설이 들어선다.
경기도는 ‘첨단 반도체 양산연계형 미니팹(성능평가시설) 기반 구축 사업’이 과학기술정보통신부 국가연구개발사업평가 총괄위원회에서 최종 예비타당성조사를 통과했다고 28일 밝혔다.
이 사업은 용인 반도체 클러스터에 SK하이닉스가 조성 중인 첫 번째 팹(Fab) 내에 연면적 3300㎡ 규모의 성능평가시설을 짓는 사업이다.
내부에는 12인치 웨이퍼(회로판) 기반 반도체 공정·계측장비 약 40대를 갖춰 국내 소부장 기업에 기술 개발과 실증,평가를 지원하게 된다.
총사업비는 1조원 규모로 산업통상자원부와 경기도, 용인시, SK하이닉스 등이 분담한다.
이성호 도 미래성장산업국장은 “첨단반도체 미니팹은 미래 반도체 산업을 선도할 핵심 시설이 될 것”이라며 “정부, 지자체, 기업이 긴밀히 협력해 사업이 적기에 추진될 수 있도록 최선을 다하겠다”고 말했다.
이상일 용인시장은 “미니팹 건설이 예비타당성조사로 확정됨에 따라 용인은 반도체 기술을 선도하는 세계 최고의 반도체 중심도시로 위상을 한층 더 높이게 됐다”며 “미내팹이 가동되면 반도체 소재·부품·장비 기업들이 개발한 기술과 제품을 반도체를 양산하는 실제 팹과 똑같은 환경에서 테스트하고 검증할 수 있게 되는 만큼 소·부·장 기업 발전과 반도체 생태계 강화에 큰 도움을 줄 것”이라고 말했다.
신동원 기자